低溫真空泵

• 型   號：AWR11-CP-200
• 價   格：

低溫真空泵 型號:AWR11-CP-200

訂購留言

分享到：

低溫真空泵 型號:AWR11-CP-200

庫號：M293227  

低溫真空泵 （又稱低溫泵、冷泵、冷凝泵）是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的容積式真空泵，是無油高真空環境獲得設備。低溫泵應用于半導體、集成電路、光電器件的制造工藝過程，是集成電路設備中的關鍵設備之一；低溫泵也用于各種其它鍍膜設備和真空應用設備中。
型號:AWR11-CP-200
抽速 Pumping Speeds （l/s）：
For H2O 4200 For Air 1500 For H2 2500
For Ar 1200 For He 750

降溫時間 Cool Down Time （min）：≤ 90

泵口法蘭 Inlet Flange （ 可根據用戶要求定制 ） ：ANSI 6 in. 或 CF 10 in. 或 ISO 200mm

適合應用于希望獲得 10-1 Pa 至 10-9 Pa 真空度的場合，尤其適合應用于要求潔凈無油和或快速抽氣的場合，例如：

• 濺射鍍膜          型號:AWR11-CP-200

• 蒸發鍍膜

• 離子注入

• 分子束外延

使用以上設備的工業真空鍍膜，例如：半導體與集成電路前工序、光學鍍膜、太陽能電池板、光電子 器件和真空電子器件制造、平板顯示器件鍍膜

• 電子束設備

• 空間模擬裝置

• 高能物理研究裝置

• 加速器束流管

• 表面分析裝置

• 質譜儀             型號:AWR11-CP-200

• 真空排氣裝置

• 其它高真空或高真空裝置

的組成

由低溫泵頭、氦壓縮機和金屬軟管三部分組成。